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EM科特台式扫描电镜用于硅太阳能电池的微纳结构观测

  • 发布日期:2021-09-03      浏览次数:451
    • 综述:

      太阳能电池又称为“太阳能芯片"或“光电池",是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到,瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏。太阳能芯片的表面微观形貌、原料和工艺对电池电性能影响很大,需要扫描电镜进行观测,从而控制电池质量。

       

      仪器介绍:  

      EM科特扫描电镜,根据样品仓大小或拓展分析附件能力,分为 CUBE系列扫描电镜、GENESIS系列扫描电镜、VERITAS系列扫描电镜。

       

      试验方法:

      取不同工艺进程的电池芯片直接放入扫描电镜中观察。快速观察模式,照相时间 10s

       

      结论:

      EM科特扫描电镜,可满足硅太阳能电池制造工艺控制检测需要。采用CUBE台式扫描电镜或GENESIS系列扫描电镜,需要切割芯片。使用VERITAS 系列扫描电镜可观察整块芯片,无损检测。

       

      1、晶圆制绒结构扫描电镜图像

      图片1_副本.png


      2、晶圆表面Saw damage etching

      图片3.png

      图片4.png

      3、铝浆电极扫描电镜图像

         

         


      4、银浆电极扫描电镜图像

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