不了解扫描电镜能谱一体机的赶紧往这里看了

　　能谱仪（Energy Dispersive Spectroscopy）简称能谱，用于样品微区元素的成分和含量分析，常与扫描电镜（SEM）或者透射电镜（TEM）搭配使用。经常使用扫描电镜可以知道，我们只要在样品表面选择感兴趣的区域，点击开始便可以获得样品表面元素成分及含量信息，非常的简单快捷。
　　扫描电镜能谱一体机原理是从电子枪中发射出高能电子束撞击样品表面，与原子的内层电子发生非弹性散射作用时，使原子发生电离，从而使原子失去一个内层电子而变成离子，并在该电子层对应位置产生一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子就会填补到这个空穴，在填补过程中同时会产生具有特征能量的X射线，探测器接收到这些特征X射线后，经过分析处理转换得到分析数据输出。
　　当高能入射电子将原子的K层电子撞击出来时同时会形成一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子便会填充到K层的空穴中。如果是L层的电子填充K层的空穴，在此过程中会发射出Ka的X射线；如果是M层的电子填充K层的空穴，在此过程中会发射出Kβ的X射线；当入射电子将原子的L层电子撞击出来后，原子为了恢复到稳态这时位于L层以外的电子就会填补到L层上的空穴若M层电子填补到L层，则会发射出Lx的X射线。
　　扫描电镜能谱一体机入射电子受样品的散射与样品的原子进行能量交换，使样品原子的外层电子受激发而逸出样品表面，这些逸出样品表面的电子就叫二次电子。还有一部分二次电子是背散射电子逸出样品表面时激发的，在成像时形成本底。从样品得到的二次电子产率既与样品成分有关，又与样品的表面形貌有更密切的关系。