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EM科特台式扫描电镜日常的检查、维护方法

  • 发布日期:2021-12-09      浏览次数:181
    •   EM科特台式扫描电镜由于其具有高分辨率,大景深,放大倍数连续可调等优点,使其成为材料微结构表征的一种重要的分析仪器设备。在配备其它辅助探头如能谱仪(EDS),波谱仪(WDS),阴极荧光探测器(CL)的情况下,还可以进行定性或定量的成分分析,缺陷、晶界分析以及电学性能测试等等。因此,扫描电子显微镜是目前的材料领域中不可少的研究工具。
        尤其是钨灯丝扫描电子显微镜,其灯丝成本低,仪器真空度要求低,可满足大多数样品的测试要求,对其的机时需求也比较多。要保证得到样品表面形貌和成分分析的准确性,其中一个重要的前提就是仪器本身是否处在合理的工作状态。因此,对仪器管理人员而言,对钨灯丝电镜的日常维护,及如何针对故障进行排查就显得更为重要。做好仪器的日常保养维护,及时发现潜在的问题,有利于降低仪器运行成本,提高仪器的使用效果,延长仪器的使用寿命。
        EM科特台式扫描电镜日常的检查、维护:
        1.实验室环境温度应长期维持在20~24℃之间,湿度在50%以下。
        2.室内需保持清洁卫生,严禁在室内喝水、饮食。
        3.每日开机时,应先检查室内的温度、湿度以及开机时系统的隔夜真空情况。
        4.隔夜真空值以保持在150Pa以内为佳。如一旦超过250Pa,则需要马上检查样品腔室是否存在密封问题。
        5.每月定期检查机械泵油的情况。观察其油液面高度及颜色。如液面高度降至1/3以下,或是油液颜色加深成黄色或浑浊,则需要及时更换。
        6.定期对仪器的像散、二次电子像分辨率等进行校正,以维持仪器良好的运转状态。
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