EM科特台式扫描电镜日常的检查、维护方法

　　EM科特台式扫描电镜由于其具有高分辨率，大景深，放大倍数连续可调等优点，使其成为材料微结构表征的一种重要的分析仪器设备。在配备其它辅助探头如能谱仪（EDS），波谱仪（WDS），阴极荧光探测器（CL）的情况下，还可以进行定性或定量的成分分析，缺陷、晶界分析以及电学性能测试等等。因此，扫描电子显微镜是目前的材料领域中不可少的研究工具。
　　尤其是钨灯丝扫描电子显微镜，其灯丝成本低，仪器真空度要求低，可满足大多数样品的测试要求，对其的机时需求也比较多。要保证得到样品表面形貌和成分分析的准确性，其中一个重要的前提就是仪器本身是否处在合理的工作状态。因此，对仪器管理人员而言，对钨灯丝电镜的日常维护，及如何针对故障进行排查就显得更为重要。做好仪器的日常保养维护，及时发现潜在的问题，有利于降低仪器运行成本，提高仪器的使用效果，延长仪器的使用寿命。
　　EM科特台式扫描电镜日常的检查、维护：
　　1.实验室环境温度应长期维持在20~24℃之间，湿度在50%以下。
　　2.室内需保持清洁卫生，严禁在室内喝水、饮食。
　　3.每日开机时，应先检查室内的温度、湿度以及开机时系统的隔夜真空情况。
　　4.隔夜真空值以保持在150Pa以内为佳。如一旦超过250Pa，则需要马上检查样品腔室是否存在密封问题。
　　5.每月定期检查机械泵油的情况。观察其油液面高度及颜色。如液面高度降至1/3以下，或是油液颜色加深成黄色或浑浊，则需要及时更换。
　　6.定期对仪器的像散、二次电子像分辨率等进行校正，以维持仪器良好的运转状态。